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關(guān)于空氣顆粒計(jì)數(shù)器的工作原理,以下有詳細(xì)說明

點(diǎn)擊次數(shù):1018 更新時(shí)間:2021-12-16
  空氣顆粒計(jì)數(shù)器是一款全功能的六通道手持式顆粒計(jì)數(shù)器,可用于高科技潔凈室生產(chǎn)中的多種作業(yè)環(huán)境,如半導(dǎo)體和平板顯示器的制造等。基座可方便電腦通過以太網(wǎng)或USB數(shù)據(jù)線獲取顆粒計(jì)數(shù)數(shù)據(jù),同時(shí)能確保儀器充電并隨時(shí)待命。
 

 

  工作原理:
  空氣顆粒計(jì)數(shù)器一般是由帶有薄端窗的氣室(充有合適的氣體),和一根絕緣的中央電極所構(gòu)成,在中央電極和外壁之間維持高電壓。當(dāng)致電離粒子進(jìn)入氣室時(shí),所形成的離子就會(huì)被吸引到相應(yīng)的電極上,于是就產(chǎn)生一股微小的電流。中央電極一般作為正極,而氣體電離價(jià)形成的電子則朝向它移動(dòng)并在此放電。
  一個(gè)給定的粒子所產(chǎn)生的電子數(shù)取決于該粒子的性質(zhì),徑跡長度、以及外加電壓。
  在電壓較低時(shí),初級(jí)電離作用所產(chǎn)生的許多電子在它們到達(dá)中央陽極之前就復(fù)合了,但隨著電壓的增高,全部離子都能被電極所收集。當(dāng)電壓進(jìn)一步增高時(shí),這兩條曲線再次陡峭上升。這時(shí),初級(jí)電子已被急速到足夠使氣體分子電離的高能狀態(tài),并且產(chǎn)生次級(jí)電子,隨著電壓的繼續(xù)增高,就產(chǎn)生越來越多的次級(jí)電子。此過程叫做“氣體放大”,它僅發(fā)生距陽極的1毫米范圍內(nèi),因而使得入射粒子的位置對(duì)放大程度幾乎沒有什么影響。
  這兩條曲線在CD和C’D’的各點(diǎn)之間,分開相當(dāng)大的距離,這是因?yàn)橛?alpha;和β粒子所生成的初級(jí)電子數(shù)目差別很大。在這個(gè)區(qū)域內(nèi),所生成的次級(jí)電子數(shù)正比于起始的初級(jí)電子數(shù)。超過D、D’點(diǎn),這兩條曲線趨于合攏,最后交于E點(diǎn),形成另一個(gè)坪區(qū)EF.。在相應(yīng)于此區(qū)域的電壓下,電子的流動(dòng)已成為一種名副其實(shí)的雪崩,而移動(dòng)緩慢的正離子則留在陽極周圍,形成一種屏蔽,使電場(chǎng)強(qiáng)度下降,直到最終出現(xiàn)飽和狀態(tài),電子便不再增加,此情況適于E點(diǎn)即第二個(gè)坪的起點(diǎn)。此坪區(qū)稱為“蓋革區(qū)。超過F點(diǎn)出現(xiàn)連續(xù)放電的狀態(tài),這將使計(jì)數(shù)管發(fā)生損壞。
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